该厂为85英寸晶圆生产销售线一起的超蒸馏水系统化，一天到晚存在含硅化工废水150吨。化工废自来水中虽无高价属，但硅含碳量高易水垢，且电阻功率率需超过18MΩ·cm能够造纸废水清理。改变清工院艺尚未要求新发布的《自动化工业企业水弄脏物直接排放量细则》（GB39731-2020）独特直接排放量卫生防护距离。 废污水材料显著特点 主耍破坏物 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、粒状硅（粒级0.1-1μm） 特色标准要求 ：TOC<10μg/L，硼水平<5μg/L 水质量性状 ：低导电率（<50μS/cm）但硅类化合物性状非常复杂 正确处理生产技术具体步骤 转型升级用到"梯级膜剥离 +电去亚铁离子"组合构成技术： 微滤预工作 ：1μm卫浴陶瓷膜屏蔽短信大颗料硅，通量稳定80LMH 阳离子调换硅胶粘合剂 ：D201大孔硅胶粘合剂进行性活性炭吸附硅酸分子式 两级RO体统 ：独一段再利用率60%，其次段所采用高脱硼膜开关元件 EDI电去亚铁离子 ：瞬时电流密度计算公式2A/m²，延续删去残余物铁离子 UV紫外线臭氧消毒 ：254nm紫外光线分子量40mJ/cm² 技能短板 开发管理专门阻硅剂（有机酸胺类符合物），廷迟膜环境污染时期3倍 EDI信息模块不断创新流道制作，硅我们要除率大幅提升至99.8% 线上硅阐述仪（测定范围之内0.1-500μg/L）改变精准定位操作 正常运作取得成效 经3.方查测： 总硅从280mg/L降为0.05mg/L 硼含铁从8μg/L降为0.3μg/L 系統再利用率从原40%改善至68% 膜换新周期时间延长至至5年，年正常运行总成本降底35%