该晶圆研制厂应用于华东的地区的地区,主要工作85英寸半导体材料晶圆,单日废水处理产生量约800吨。原因工作操作过程中运行丰富盐酸开展晶圆蚀刻,引发废水处理中氟化物氧浓度超过200-300mg/L,远超发展中国家产生标淮(10mg/L下列)。
电镀废水物质及因素
废水处理其主要出自几个阶段:
晶圆蚀刻加工过程
:含高密度氟化物(HF)、硝酸铵及极富巨资属
耐腐蚀机械厂拋光(CMP)生产废水
:含微米级硅颗粒状、有机质络合剂
产品洗掉生活污水
:含异丙醇、氧化还原电位等有机酸物
加工技艺程序
使用"化学工业析出出的+混泥土析出出的+强度净化"三級补救设备:
4级处置
:污泥脱水氯化钙和氢空气氧化钙,组成氟化钙积淀,氟化物除去率达85%
一级净化处理
:含有PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),洗去电解质溶液态水固体废弃物
三级职业资格证书处置
:根据多媒质过滤装置器和吸咐性炭吸咐,喷水氟化物盐浓度安全在8mg/L下类
根本仪器也包括:pH装置自动调理装置、斜管奠定池、板框压泥机(活性污泥烘干)。
最后感觉
该项目启用3年统计数据库数据库展现:
氟化物峰值含量:7.2mg/L(压低国家准则)
COD清理率:92%
污泥处理含水分率:≤65%
年回收处理氟化钙副软件约150吨,保证 資源化充分利用