某半导体芯片厂在加工进程中用盐酸系显影液液,造成高密度含NOx废水治疗,日治疗量50吨。废水治疗中含NO2-达到2000mg/L,且富含微量分析有机肥料光刻胶部分,治疗麻烦很高。
2. 化工废水因素及从何而来
成像工艺流程电镀废水(重点污染问题源)
晶圆拆洗电镀废水
有机废气物干洗塔室外排水
3. 除理加工制作工艺 流程图
通过"高层脱色+二级微生物整理"创新性工艺设计:
二空气氧化碳空气氧化
:能够 老化发生的器导致O3,将难降解塑料有机会物分解成为小大分子物品,此外将NO2-空气氧化为NO3-。
微生物膜反馈器(MBR)
:
第1 级:美丽水世界工作环境下加药系统甲醇作碳源,催进反硝化想法想法
2级:好氧微生物膜进那步溶解有机肥料物
电有机化学进一步处理
:采取钛基表层探针,经由电解抛光功用徹底分析的残留物影响物。
4. 决定实际效果
NOx总氮调至8mg/L以下的
COD不稳在30mg/L球以内
污废水 中水回用率达60%
机系统使用耗电保持在3.5kWh/吨水,较普通工艺设备节能降耗20%。